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2013.04.10天津华海清科机电科技有限公司成立
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2014.03首台国产12英寸CMP贸易机型Universal-300研发成功
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2015.11华海清科承担“国度02科技沉大专项”
2017Universal-300 Plus进入客户端,尔后,Universal-300 Dual、Universal-300 X、Universal-300 T等机型先后进入市场,形成批量销售。公司CMP设备市占率、进口代替率均位居国产IC设备前列。
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2019.09华海清科CMP设备在客户端大出产线出产晶圆突破100万片
2021.06华海清科第100台12英寸CMP设备出货
2021.07研磨抛光设备产业基地启动使用
2021.09华海清科首台十二英寸超精密晶圆减薄机进入客户端验证
2021.11华海清科荣膺国度级“造作业单项冠军示范企业”
2021.122021年昔时实现机台造作超百台
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2022.01华海清科CMP设备进入封装领域国际头部客户
2022.02华海清科晶圆再出产品规模量产,累计出货量突破10万片
2022.06.08华海清科成功登陆上交所科创板,股票代码为688120
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2023.05全新一代12英寸超精密晶圆减薄机出机
2023.09首台单片洗濯机进入客户端
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2024.06.24荣获2023年度国度科学技术奖国度技术发现一等奖
2024首台12英寸减薄贴膜一体机进入客户端,首台12英寸晶圆划切设备、12英寸晶圆边缘抛光设备陆续出机
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2025.01.25华海清科北京厂区正式启用
2025.06.27华海清科在江苏省昆山市启动晶圆再生扩产项目,建成后晶圆再生业务整体产能规模将达到60万片/月
2025.06.30华海清科12英寸减薄贴膜一体机Versatile–GM300批量发往国内半导体龙头企业
2025.07.14华海清科首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺利出机
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